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LUPHOScan 850 HD 是泰勒霍普森推出的一款大型光學工件精密檢測儀，基于多波長干涉技術（MWLI®），專為大型復雜光學應用工件的精密檢測而設計。以下是其相關介紹：

測量原理：基于多波長干涉技術（MWLI®），通過測量傳感器在被測工件表面按預設路徑掃描，同時工件自身旋轉，利用多波長干涉傳感技術測量絕對距離，實現對工件表面三維面形的測量。

測量范圍：測量口徑范圍可從 5mm 到 850mm，測量高度可達 210mm，大工件負載可達 350kg，可滿足多種尺寸大型光學工件的檢測需求。

測量精度：具有高精度和高重復性的面形誤差測量能力，精度可達 <λ/20 (PV99i)，RMS 最小可達 5nm*，能為大型光學工件提供高精度的測量數據。

可測工件類型：主要用于對非球面透鏡、球面、平面和輕微自由曲面等旋轉對稱表面的超高精密非接觸式三維表面形狀測量。

可測材料：幾乎能測量所有的材料，包括透明、鏡面、不透明、拋光或磨光面等，適用范圍廣泛。

功能特性：具備全新設計的 Flying spot 環紋抑制模式、基于相位的自動對焦、像素穩定光學縮放及全新的變倍模式等。其智能設置功能可根據安裝的不同附件自動配置，還擁有 ZYGO 有氦氖穩頻激光以及模塊化、密閉光學系統。

性能優勢：測量速度快，對不常見的表面形狀，如平頂或有拐點的輪廓，具有高度靈活性，并且具有優異的重復性。