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儀器搭載帶玻璃或鈹窗口的鎢靶X射線管，工作條件達50KV、50W，配合比例接收器，可高效捕捉高達數kcps的計數率。其配備的準直器支持固定或4個自動切換，最小可實現0.05x0.05mm的測量點，微聚焦管技術確保短測量距離內的精準定位。獨特的C型槽殼體設計與手動XY軸工作臺，既適配印刷線路板等大型平整樣品，也能滿足連接器、觸點等細小部件的精確定位測量，視頻窗口更輔助實現測量位置的可視化把控。